Yarı İletken Endüstrisi
Çip düz bir oyma işiyle karşılaştırılırsa, fotolitografi makinesi çizim için fırçadır; aşındırma makinesi gravür bıçağıdır; ve biriktirilen film gravür için kullanılan malzemedir. Fotolitografinin doğruluğu doğrudan bileşenlerin boyutunu belirlerken, aşındırma ve ince film biriktirme doğruluğu fotolitografinin boyutunun gerçekten işlenip işlenemeyeceğini belirler. Bu nedenle, fotolitografi, aşındırma ve ince film biriktirme ekipmanları çip işleme sürecinde en önemli olanlardır. Üç tip ana ekipman, ön cephe ekipmanlarının yaklaşık %70'ini oluşturur.
Son yıllarda, ülkemiz çeşitli ekipman türlerinde telafi araştırma ve geliştirme yapmaya başlamıştır. Teknik olarak en zor ana ekipmanlar arasında, aşındırma makineleri yerli ikamenin ön saflarında yer almaktadır. Bugün, Xiao Ming yarı iletken aşındırma ekipmanında sensör uygulama çözümünü paylaşacak.
01 Taşıyıcı Kimlik Yönetimi
Akıllı kod okuyucu RCD-AI100-S
Yükleme ucundaki FOUP kutusuna takılı evrensel barkod etiketini otomatik olarak okuyarak, noktadan noktaya hassas yönetim kolayca sağlanabilir ve maliyetler azaltılabilir. Algoritma güçlüdür ve aynı anda birden fazla barkodu okuyabilir.
02 Üst çipin mevcut olup olmadığını kontrol edin
Fiber optik sensör PG1+PT-32-DQ
Üst çipin dolu olup olmadığını belirlemek için varlığını tespit edin. Küçük bir iş istasyonu yapısında, kurulumu kolaylaştırmak için ince bir optik fiber seçmeniz gerekir. Karşılıklı ışın prensibi, tespiti daha kararlı hale getirir. Bir PG1 amplifikatörü ile 13us Ultra yüksek hızlı tespit gerçekleştirebilir.
03 Kimyasal sıvı seviyesini kontrol edin
Sıvı seviye sensörü CE30-26NO
Boruda kabarcıklar olduğunda, optik sensörlerin kullanımı yanlış değerlendirmeye neden olabilir. Bu nedenle, boru sıvı seviyesi algılamaya ayrılmış kapasitif bir yakınlık sensörü kullanılabilir. Boruda kabarcıklar oluşsa bile, algılama kararlı olabilir ve sıvının renginden ve yoğunluğundan etkilenmez. temassız algılama ayrıca sensörün sensörle reaksiyona giren kimyasalları dikkate alma ihtiyacını ortadan kaldırır.
04 Hedef konumlandırma ve mesafe ölçümü
Lazer yer değiştirme sensörü MLD23-100N
Bu iş istasyonunun her bir gofretin yüksekliğini gerçek zamanlı olarak doğru bir şekilde ölçmesi gerekir. Akusense'nin lazer yer değiştirme sensörü, 0,01 mm doğrulukla gofretin herhangi bir konumunu gerçek zamanlı olarak izleyebilen 65-135 mm'lik geniş bir algılama aralığına sahiptir. Yazılım işlevi kolayca öğretilebilir, bu da hata ayıklamanın rahatlığını artırır.
